Elaboración de películas de TiO2 por magnetrón Sputtering y estudio de la dependencia de sus propiedades ópticas y eléctricas con los parámetros de crecimiento.

El problema general es encontrar cuales materiales permiten obtener películas con buenos compromisos entre transparencia y conducción eléctrica. En el caso particular del TiO2 y algunas fases no estequiométricas TiO2-x, se quiere encontrar como varían las propiedades ópticas cuando varían las propiedades eléctricas y viceversa y cuál es la dependencia entre estas dos propiedades. Por otro lado establecer cuáles son las condiciones de crecimiento por Magnetron Sputtering reactivo que permiten producir de películas de TiO2-x conductoras transparentes y cual es la correlación entre los parámetros de crecimiento y las constantes ópticas y eléctricas de las películas obtenidas. Finalmente se quiere encontrar que ventajas ofrece las películas de TiO2-x cuando se utilizan en la estructuración de OLEDs.